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题名:
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集成电路与等离子体装备 / 赵晋荣等主编 , |
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ISBN:
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978-7-03-077546-7 价格： 168.00 |
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载体形态:
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282页 |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 科学出版社 出版日期： 2024-04-01 |
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主题词:
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集成电路/等离子刻蚀@x设备 |
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中图分类法:
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TN4/TN305.7 版次： |