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题名:
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射频等离子体物理基础 / 王友年, 宋远红, 张钰如编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-077992-2 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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442页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书较为全面、系统地介绍了低气压非热平衡等离子体的物理基础和射频等离子体特性。分两大部分，其中第一部分为第1-8章，主要介绍低温等离子体的物理模型，包括概述、碰撞模型、粒子模型、动理学模型、流体力学模型、稳态输运模型、射频鞘层模型、整体模型等；第二部分为第9-14章，侧重介绍不同类型的射频放电和射频等离子体特性，如容性耦合等离子体、甚高频容性耦合等离子体中的电磁效应、柱状线圈感性耦合等离子体、平面线圈感性耦合等离子体、螺旋波等离子体和电子回旋共振微波等离子体。 |
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主题词:
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射频 等离子体物理学 |
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中图分类法:
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O53 版次： 5 |
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主要责任者:
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王友年 编著 |
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主要责任者:
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宋远红 编著 |
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主要责任者:
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张钰如 编著 |
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附注:
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科学出版社“十四五”普通高等教育本科规划教材 |