|
题名:
|
原子层沉积制造技术及生物传感应用 / 刘磊著 , |
|
ISBN:
|
978-7-122-45124-8 价格： CNY158.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
224页 图 25cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2024 |
|
内容提要:
|
本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用, 共分7章, 主要内容包括原子层沉积 (ALD) 技术的基本原理、特点、系统和工作模式, 聚焦于ALD技术的拓展, 涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用, 重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展, 在阐明ALD技术基本原理的同时, 介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。 |
|
主题词:
|
纳米技术 应用 |
|
中图分类法:
|
Q811.4 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
刘磊 著 |