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题名:
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微纳尺度制造工程 / (美) 斯蒂芬·A.坎贝尔著 , |
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ISBN:
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9978-7-121-11804-3 价格： CNY69.00 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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xvii, 637页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2010 |
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内容提要:
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本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。 |
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主题词:
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微电子技术 高等学校 |
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中图分类法:
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TN405 版次： 5 |
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主要责任者:
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坎贝尔 著 |
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版次:
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第3版 |
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附注:
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国防科技大学内部教材 |