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题名:
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原子层沉积技术 / 李爱东编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-048375-1 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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381页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书是面向研究生和从事材料研发等相关行业的科研人员系统介绍原子层沉积技术原理及其应用的一本专业书籍，共13章。包括原子层沉积的发展历史、原理、前驱体、沉积材料及其理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积技术等。 |
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主题词:
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原子 沉积 |
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中图分类法:
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TB3 版次： 5 |
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其它题名:
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原理及其应用 |
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主要责任者:
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李爱东 编著 |