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题名:
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半导体光谱测试方法与技术 / 张永刚, 顾溢, 马英杰著 , |
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ISBN:
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978-7-03-047222-9 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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331页, [2] 页图版 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书首先介绍了光谱学和光谱仪器的发展概况和基本原理，分析了半导体材料、器件及其应用研究工作以及相关研制和生产中对光谱测试的需求，然后论述各种光谱仪器的分类及其工作原理，分别探讨基于分光光谱仪和傅里叶变换光谱仪等的光谱测量系统，包括其各部分的组成、性能参数要求和搭建实际系统应注意的问题等。在此基础上书中还就吸收及反射光谱、发射光谱、光电光谱等的具体测量技术，结合各种测量实例，详细介绍各种不同测量的要求和限制因素，具体包括透射、吸收、反射、光荧光、电荧光、激光、光电导、光电流、光电压以及光电容光谱等。书中最后还介绍了Raman光谱、微区光谱以及时间分辨光谱等的测量原理及其在半导体材料和器件研究中的应用。 |
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主题词:
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半导体 光谱分析 |
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中图分类法:
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O472 版次： 5 |
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主要责任者:
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张永刚 著 |
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主要责任者:
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顾溢 著 |
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主要责任者:
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马英杰 著 |