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题名:
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MEMS法珀腔光学声传感器
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郑永秋，陈佳敏，武丽云著
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ISBN:
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978-7-121-46695-3
价格：
CNY98.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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211页
图，照片
23cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
2023
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内容提要:
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本书论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。
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主题词:
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光纤传感器
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中图分类法:
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TP212.4
版次：
5
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主要责任者:
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郑永秋
著
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主要责任者:
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陈佳敏
著
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主要责任者:
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武丽云
著
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