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题名:
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半导体材料 / 张源涛, 杨树人, 徐颖编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-075191-1 价格： CNY59.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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257页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺, 以及特性的控制等。本书共13章: 第1章为硅和锗的化学制备, 第2章为区熔提纯, 第3章为晶体生长, 第4章为硅、锗晶体中的杂质和缺陷, 第5章为硅外延生长, 第6章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体, 第7章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的外延生长, 第8章为Ⅲ-Ⅴ族多元化合物半导体, 第9章为Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体, 第10章为低维结构半导体材料, 第11章为氧化物半导体材料, 第12章为宽禁带半导体材料, 第13章为其他半导体材料。 |
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主题词:
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半导体材料 高等学校 |
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中图分类法:
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TN304 版次： 5 |
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主要责任者:
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张源涛 编著 |
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主要责任者:
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杨树人 编著 |
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主要责任者:
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徐颖 编著 |
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版次:
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第4版 |