题名:
聚焦离子束   / 邓昱 ... [等] 著 ,
ISBN:
978-7-305-27409-1 价格： CNY68.00
语种:
chi
载体形态:
193页, 10页图版 图 (部分彩图) 23cm
出版发行:
出版地： 南京 出版社： 南京大学出版社 出版日期： 2023
内容提要:
本书共分七章，从聚焦离子束的结构原理出发，紧密结合应用与实践，对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述，并配有实际案例进行进一步详解。 
主题词:
离子束聚变装置  
中图分类法:
TL632 版次： 5
主要责任者:
邓昱 著
主要责任者:
魏大庆 著
主要责任者:
王英 著
责任者附注:
邓昱，南京大学现代工程与应用科学学院博士生导师，亚原子电子显微镜中心主任，中国分析测试协会青年委员会副主任委员，美国劳伦斯伯克利国家实验室、国家电子显微镜中心访问教授。 
责任者附注:
魏大庆，教授级高工，哈尔滨工业大学电镜平台主任、分析测试与计算中心副主任，黑龙江省电镜学会理事长，中国CSTM FC98科学试验领域委员会委员。 
责任者附注:
王英，副教授，上海交通大学先进电子材料与器件平台净化管理部门负责人，中国电子显微镜学会聚焦离子束 (FIB) 专业委员会委员。