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题名:
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薄膜生长技术 / 金克新编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-076633-5 价格： CNY118.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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233页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书以作者在西北工业大学物理科学与技术学院的“薄膜物理学”课程讲义为蓝本，参考国内外薄膜物理学经典教材，主要论述薄膜物理与薄膜生长技术的基本内容，系统介绍薄膜的形成与生长、物理化学制备薄膜的原理与方法，包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子束镀膜、化学气相沉积、脉冲激光分子束外延法等，注重激发学生的学习兴趣，提升学生的学习能力。 |
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主题词:
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薄膜生长 |
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中图分类法:
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O484.1 版次： 5 |
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主要责任者:
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金克新 编著 |