|
题名:
|
氮化铝单晶材料生长与应用 / 徐科, 黄俊编著 , |
|
ISBN:
|
978-7-5606-6283-1 价格： CNY108.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
175页, [4] 页图版 图 (部分彩图) 25cm |
|
出版发行:
|
出版地： 西安 出版社： 西安电子科技大学出版社 出版日期： 2022 |
|
内容提要:
|
本书以作者多年的研究成果为基础, 大量扩展和补充了该领域的最新研究成果, 详细介绍了氮化铝单晶材料生长与器件的基本原理、技术工艺、最新进展及应用趋势。全书共七章, 包括氮化铝单晶材料的基本性质、材料生长的物理基础、材料的缺陷、物理气相传输法、氢化物气相外延法、金属有机物化学沉积法、和氮化铝器件应用。 |
|
主题词:
|
氮化铝 单晶 |
|
中图分类法:
|
TN304.2 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
徐科 编著 |
|
主要责任者:
|
黄俊 编著 |