题名:
图解芯片制造技术   / 吴元庆,刘春梅,王洋编著 ,
ISBN:
978-7-122-43803-4 价格： CNY69.80
语种:
chi
载体形态:
213页 图 21cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2023
内容提要:
芯片是近年来备受关注的高科技产品,在电子、航空航天、机械、船舶、仪表等领域发挥着不可替代的作用。本书围绕芯片制造技术展开,从单晶硅晶体的拉制讲起,介绍了多种硅晶体的沉积和拉制、切割技术,着重介绍了光刻技术和光刻设备,并简要介绍了集成电路封装技术。 
主题词:
芯片   生产工艺
中图分类法:
TN430.5 版次： 5
主要责任者:
吴元庆 编著
主要责任者:
刘春梅 编著
主要责任者:
王洋 编著
责任者附注:
吴元庆,男,1982年,辽宁庄河人,满族,博士,渤海大学物理科学与技术学院副教授。