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题名:
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图说集成电路制造工艺 / 孙洪文编著 , |
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ISBN:
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978-7-122-43290-2 价格： CNY99.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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271页 彩图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书通过彩色图解的形式，结台轻松有趣的解读方式，详细介绍了集成电路芯片制造工艺的相关知识，内容包括:基础知识、行业现状、半导体材料与设备、集成电路工艺概述、氧化、沉积、外延、扩散、离子注入、硅片清洗、刻蚀、抛光、高温工艺、退火、深紫外光刻、极紫外光刻、下一代光刻技术以及未来的集成电路工艺等。 |
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主题词:
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集成电路工艺 |
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中图分类法:
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TN405-64 版次： 5 |
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其它题名:
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集成电路制造工艺 |
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主要责任者:
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孙洪文 编著 |
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附注:
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全彩图解 4大类10余种芯片制程核心工艺 |