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题名:
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现代微电子制造技术全科工程师指南 / 樊融融编著 , |
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ISBN:
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978-7-5226-1762-6 价格： CNY129.80 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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12,349页 图，照片 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 中国水利水电出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书从闸述微电子装备制造技术的过去、现在及未来开始，以贯穿电子制造全过程的质量状态为脉络，分析了电子系统从设计到微电子制造过程中所发生概率事件的形因、机理、危害及其对策，提出了现代微电子制造技术全科工程师必须从系统角度出发，熟悉现代微电子制造技术原理，才能迅速寻求解决方案，避免工艺过程被迫终止造成损失的理念。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4-62 版次： 5 |
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主要责任者:
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樊融融 编著 |