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题名:
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MEMS/NEMS谐振器技术 / 张文明, 胡开明著 , |
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ISBN:
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978-7-03-075719-7 价格： CNY298.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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475页 彩图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书主要介绍微/纳机电系统 (MEMS/NEMS) 谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章，主要内容包括：MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势；谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术；谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术；谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为；微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法；谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术；通道式MEMS/NEMS谐振器检测原理、动力学设计与分析技术；微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术；谐振器中存在的典型失效模式与失效机理，以及多种可靠性评估方法和测试技术。 |
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主题词:
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微机电系统 谐振器 |
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中图分类法:
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TN629.1 版次： 5 |
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主要责任者:
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张文明 著 |
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主要责任者:
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胡开明 著 |