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题名:
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薄膜晶体管原理及应用 / 董承远编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-62777-7 价格： CNY49.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xii, 234页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书共分7章。第1章介绍薄膜晶体管的发展简史和技术分类；第2章阐述薄膜晶体管在平板显示有源矩阵驱动中的应用原理；第3章讲解薄膜晶体管相关的半导体、绝缘体和电极材料物理；第4章阐述非晶硅薄膜晶体管和多晶硅薄膜晶体管器件物理的相关基础知识；第5章介绍薄膜晶体管制备的单项工艺原理；第6章讲解非晶硅薄膜晶体管阵列和多晶硅薄膜晶体管阵列工艺整合原理及柔性薄膜晶体管背板的制备工艺；第7章总结全书并展望非晶氧化物薄膜晶体管技术的发展趋势和薄膜晶体管在非显示领域的应用前景。 |
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主题词:
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薄膜晶体管 高等学校 |
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中图分类法:
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TN321-43 版次： 5 |
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主要责任者:
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董承远, 编著 |
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版次:
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第2版 |