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题名:
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钼靶材及其薄膜制备技术 / 谢敬佩 ... 等著 , |
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ISBN:
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978-7-03-070385-9 价格： CNY118.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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x, 189页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手，研究了原材料及还原工艺对钼粉性能的影响和烧结钼的热变形行为，分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响，确定了钼靶材的制备工艺，实现了钼靶材的微观组织调控。本书还研究了钼靶材的原始组织状态、单层钼薄膜的热处理、双层钼薄膜的结构调控和工艺优化，探究其对金属钼薄膜结构和光电性能的影响，从而制备出具有良好光电性能和高黏结性能的钼薄膜。 |
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主题词:
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钼 金属薄膜 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 5 |
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主要责任者:
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谢敬佩 著 |
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主要责任者:
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陈艳芳 著 |
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主要责任者:
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赵海丽 著 |
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索书号:
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TB383/996 |