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题名:
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微机电系统 / 苑伟政, 乔大勇, 虞益挺编著 , |
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ISBN:
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978-7-5612-7676-1 价格： CNY69.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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341页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 西安 出版社： 西北工业大学出版社 出版日期： 2021 |
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内容提要:
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全书分为6章, 分别介绍了MEMS发展历程, MEMS理论基础, MEMS基本工艺技术, MEMS设计技术, 以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面, 本书结合大量工艺实例, 易于学生理解, 有助于提高其动手能力; 对各种典型微机电器件的介绍, 大部分来源于实验室的课题研究实例, 内容充实新颖。 |
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主题词:
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微电子技术 高等学校 |
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中图分类法:
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TN4-43 版次： 5 |
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主要责任者:
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苑伟政 编著 |
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主要责任者:
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乔大勇 编著 |
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主要责任者:
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虞益挺 编著 |
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版次:
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第2版 |