题名:
新型微纳传感器技术   / 赵玉龙, 蒋庄德著 ,
ISBN:
978-7-122-42346-7 价格: CNY128.00
语种:
chi
载体形态:
244页 图 27cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 化学工业出版社 出版日期: 2022
内容提要:
本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构,阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用,主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。 
主题词:
微电机   传感器
中图分类法:
TP212 版次: 5
主要责任者:
赵玉龙
主要责任者:
蒋庄德