题名:
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新型微纳传感器技术 / 赵玉龙, 蒋庄德著 , |
ISBN:
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978-7-122-42346-7 价格: CNY128.00 |
语种:
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chi |
载体形态:
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244页 图 27cm |
出版发行:
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出版地: 北京 出版社: 化学工业出版社 出版日期: 2022 |
内容提要:
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本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构,阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用,主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。 |
主题词:
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微电机 传感器 |
中图分类法:
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TP212 版次: 5 |
主要责任者:
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赵玉龙 著 |
主要责任者:
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蒋庄德 著 |