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题名:
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激光热敏光刻 / 魏劲松著 , |
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ISBN:
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978-7-302-60745-8 价格： CNY129.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xi, 219页 图 (部分彩图) 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书首先对目前各种光刻技术的原理、方法和特点进行描述与分析比较；然后阐述激光热敏光刻的物理过程、仪器系统、光刻策略、用于超越光斑尺寸的纳米光刻、跨尺度光刻、宽波段光刻、分辨率极限光刻、灰度图形光刻，以及图形转移的方法和相应的实验结果及应用事例。 |
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主题词:
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激光技术 应用 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： 5 |
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主要责任者:
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魏劲松 著 |
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附注:
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“十四五”时期国家重点出版物出版专项规划·重大出版工程规划项目 国家出版基金项目 |