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题名:
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多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器 / 陆学斌著 , |
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ISBN:
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978-7-301-33905-3 价格： CNY68.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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160页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京大学出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书共分5章,第1章介绍多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状,第2章介绍工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响,第3章研究多晶硅纳米薄膜的杨氏模量,第4章研究多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用,第5章介绍多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。 |
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主题词:
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多晶 纳米材料 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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陆学斌 著 |