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题名:
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一本书读懂芯片制程设备 / 王超[等]编著 , |
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ISBN:
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978-7-111-72041-6 价格： CNY99.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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254页 图，照片 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。 |
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主题词:
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芯片 工业生产设备 |
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中图分类法:
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TN430.505 版次： 5 |
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主要责任者:
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王超 编著 |
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附注:
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机工通信 |