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题名:
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等离子体刻蚀工艺及设备
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赵晋荣主编
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ISBN:
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978-7-121-45018-1
价格：
CNY98.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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14,164页
图
24cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
2023
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内容提要:
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本书介绍了等离子体基础知识、基于等离子体的刻蚀技术、等离子体刻蚀设备及其在集成电路中的应用。
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主题词:
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等离子刻蚀
工艺学
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主题词:
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等离子刻蚀
设备
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中图分类法:
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TN305.7
版次：
5
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主要责任者:
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赵晋荣
主编
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附注:
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工信学术出版基金 集成电路产业知识赋能工程
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