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题名:
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集成电路制造设备零部件归类指南 / 温朝柱, 史芳婷, 蒋耘弈编著 , |
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ISBN:
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978-7-5175-0624-9 价格： CNY78.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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290页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 中国海关出版社有限公司 出版日期： 2023 |
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主题词:
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集成电路工艺 零部件 |
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中图分类法:
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TN405-62 版次： 5 |
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主要责任者:
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温朝柱 编著 |
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主要责任者:
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史芳婷 编著 |
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主要责任者:
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蒋耘弈 编著 |