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题名:
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MEMS压力传感器理论与技术 / 蒋庄德等著 , |
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ISBN:
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978-7-04-060468-9 价格： CNY99.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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358页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 高等教育出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书共13章，主要内容包括：绪论、MEMS压力传感器基础理论、MEMS压力传感器硅微工艺、SOI耐高温阻式压力传感器、微型压力传感器、高频压力传感器、谐振式压力传感器等。 |
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主题词:
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压力传感器 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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蒋庄德 著 |
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附注:
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机械工程前沿著作系列 |
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附注:
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国家科学技术著作出版基金资助出版 “十四五”国家重点出版物出版规划项目 |