|
题名:
|
微机电系统工程基础 / 蒋永刚主编 , |
|
ISBN:
|
978-7-5124-4022-7 价格： CNY39.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
149页 图 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 北京航空航天大学出版社 出版日期： 2023 |
|
内容提要:
|
本书循序渐进, 体系严密, 概括了基本传感原理和制造方法, 讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识, 描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法, 及其相关的传感器与执行器, 详细介绍了微制造中常用的体微机械加工和表面微机械加工技术, 而器件制造方法则岔入到实例研究中, 讨论了与聚合物有关的。MEMS制造技术 根据这些敏感与执行方法以及制造方法, 选择了MEMS主要应用领域作为实例介绍, 包括微流控应用、用于扫描探针显微术的器件、光MEMS, 介绍了工艺集成问题和项目管理问题。 |
|
主题词:
|
微机电系统 高等学校 |
|
中图分类法:
|
TH-39 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
蒋永刚 主编 |
|
附注:
|
高等学校通用教材 |