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题名:
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新型微机电系统与器件 / 马宗敏主编 , |
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ISBN:
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978-7-5606-6530-6 价格： CNY49.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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312页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 西安 出版社： 西安电子科技大学出版社 出版日期： 2022 |
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主题词:
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微机电系统 高等学校 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 5 |
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主要责任者:
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马宗敏 主编 |
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附注:
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高等学校微电子类专业系列教材 |