题名:
|
精密运动系统迭代前馈控制方法及应用 / 宋法质, 刘杨著 , |
ISBN:
|
978-7-5603-9713-9 价格: CNY48.00 |
语种:
|
chi |
载体形态:
|
154页 图 24cm |
出版发行:
|
出版地: 哈尔滨 出版社: 哈尔滨工业大学出版社 出版日期: 2022 |
内容提要:
|
反馈控制方法受限于机械系统机械谐振频率和BODE积分定理, 闭环带宽不可能无限提高, 难以满足现代精密机械系统高产量、高品质的性能需求。前馈控制在精密运动平台 (如光刻机硅片台、工业打印机等) 加速运动过程中, 可以大幅减少由参考轨迹引起的误差, 缩短调整时间, 从而提高系统产率。本书针对精密机械系统中存在的重复、非重复运动过程, 引入迭代学习思想, 分别研究了非固定结构、固定结构前馈控制器的设计方法。 |
主题词:
|
机械系统 前馈控制 |
中图分类法:
|
TP271 版次: 5 |
主要责任者:
|
宋法质 著 |
主要责任者:
|
刘杨 著 |
附注:
|
黑龙江省优秀学术著作 “十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目 |