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题名:
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真空微电子学及其应用 / 王保平，雷威[主编] , |
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ISBN:
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7-81050-915-2 价格： ￥9.50 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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151页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 呼和浩特 出版社： 内蒙古人民出版社 出版日期： 2002 |
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内容提要:
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本书从真空微电子学的形成、发展历史和最新动态出发，系统地介绍了真空微电子学的物理基础，详细讨论了微细结构制造技术、真空微电子器件工作特性的数值模拟和器件结构设计，着重阐述了真空微电子学的应用及其对未来电子学发展的巨大影响。 |
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主题词:
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真空电子技术 微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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王保平 主编 |
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主要责任者:
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雷威 主编 |
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索书号:
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3 |