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题名:
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微波等离子体化学气相沉积金刚石膜 / 周健、傅文斌、袁润章著 , |
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ISBN:
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7-80159-245-X 价格： ￥12.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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195页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 中国建材工业出版社 出版日期： 2002 |
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内容提要:
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本书包括介绍了 金刚石的结构与主要性质，分析了金刚石的表征方法和化学气相沉积的机理，介绍了建立的 MPCVD-4型微波等离子CVD系统，对微波场型进行了分析和设计，着重分析了基片加热材料的温度场型，建立了四种温度场型模型，并重点介绍了微波等离子化学气相沉积高取向和透明金刚石膜的制备，最后分析了金刚石膜应用的关键问题及未来展望。 |
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主题词:
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金刚石 薄膜 |
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中图分类法:
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TB42 版次： 4 |
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主要责任者:
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周健 著 |
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主要责任者:
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傅文斌 著 |
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主要责任者:
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袁润章 著 |
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附注:
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室出版基金和武汉青年科技晨光计划资助 |
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索书号:
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2 |