题名:
薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论   / 钱征华 ... [等] 著 ,
ISBN:
978-7-03-070356-9 价格: CNY99.00
语种:
chi
载体形态:
185页 图 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 科学出版社 出版日期: 2021
内容提要:
本书从线弹性压电理论出发, 详细介绍两种适用于FBAR结构振动分析的二维近似理论, 即基于幂级数展开法的高阶板理论及基于小扰动假设的二维标量微分方程理论。通过介绍对这两种近似方法的应用, 探讨FBAR结构振动分析中的一系列常见问题, 包括模态耦合效应的基本规律、能陷效应及其应用、寄生模态的特征分析及抑制等。 
主题词:
薄膜   声表面波谐振器
中图分类法:
TN62 版次: 5
主要责任者:
钱征华
主要责任者:
李念
主要责任者:
黄浩宇
附注:
工业和信息化部“十四五”规划专著