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题名:
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高温SiC MEMS传感器的热电特性 / (澳) 丁东安, 阮南中, 陶宗越著 , 王兴华, 刘文宝, 刘红卫, 李兴冀译 |
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ISBN:
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978-7-03-072489-2 价格： CNY88.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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x, 133页 图 (部分彩图) 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书主要介绍了碳化硅 (SiC) 传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分, 共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性; 第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程, 总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展; 第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。 |
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主题词:
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碳化硅热敏电阻器 研究 |
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主题词:
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微机电系统 传感器 |
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中图分类法:
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TM54 版次： 5 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 5 |
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主要责任者:
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丁东安 著 |
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主要责任者:
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阮南中 著 |
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主要责任者:
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陶宗越 著 |
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次要责任者:
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王兴华 译 |
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次要责任者:
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刘文宝 译 |