|
题名:
|
薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术 / 陈吉堃著 , |
|
ISBN:
|
978-7-03-069915-2 价格： CNY78.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
148页 图 (部分彩图) 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2021 |
|
内容提要:
|
本书结合作者的长期相关研究系统介绍了低温等离子体的常用探测方法; 重点结合脉冲激光沉积实例对等离子体与背景气体间复杂的物理碰撞与化学反应, 以及对薄膜沉积的基础性影响关系作详细介绍。 |
|
主题词:
|
低温 等离子体 |
|
中图分类法:
|
O536 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
陈吉堃 著 |