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题名:
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金刚石膜粒子探测器材料 / 夏义本著 , |
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ISBN:
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978-7-03-070427-6 价格： CNY150.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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299页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书介绍了金刚石膜材料的物理性能、制备工艺技术以及材料与光电探测器件的关系和原理。其物理性能包括膜的结构、表面、界面及掺杂对热和光电性能的影响；制备工艺技术包括不同材质的衬底处理，详尽地描述了微波等离子体和热丝辅助化学气相沉积法制备金刚石膜的工艺及各种检测分析技术；从半导体器件物理原理出发阐述了金刚石膜粒子探测器的性能及与材料间内在联系。详尽报道了国内外该领域的研究动态。 |
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主题词:
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粒子探测器 金刚石涂层 |
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中图分类法:
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O572.21 版次： 5 |
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主要责任者:
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夏义本 著 |