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题名:
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硅基MEMS制造技术
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王跃林, 吴国强等编著
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ISBN:
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978-7-121-43208-8
价格：
CNY138.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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xvii, 350页
图
25cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
2022
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内容提要:
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本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基MEMS芯片的批量制造，介绍了硅基MEMS芯片制造技术。
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主题词:
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微机电系统
研究
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中图分类法:
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TH-39
版次：
5
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主要责任者:
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王跃林
编著
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主要责任者:
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吴国强
编著
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附注:
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集成电路产业知识赋能工程
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