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题名:
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扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术 / 施明哲编著 , |
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ISBN:
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978-7-121-42877-7 价格： CNY188.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xvi, 480页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书包括上、下两篇和一些相关的附录。上篇包括第1-9章，主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题，以及改善图像质量的应对方法和措施，列举了多种电子元器件在电应力和环境应力作用下的一些失效案例，介绍了扫描电镜常用的几种维护保养方式、方法。下篇包括第10-18章，主要介绍了能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术，包括Si(Li)与SDD新旧两种能谱仪探测器芯片的结构和基本原理，以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的棘手问题及相应的处理方法，还介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及各自的特点等。 |
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主题词:
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扫描电子显微镜 |
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主题词:
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电子能谱仪 |
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中图分类法:
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TH742.9 版次： 5 |
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中图分类法:
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TN16 版次： 5 |
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中图分类法:
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TH842 版次： 5 |
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主要责任者:
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施明哲 编著 |
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版次:
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2版 |