题名:
半导体工程导论   / (美)杰西·鲁兹洛(Jerzy Ruzyllo)著 , 黄其煜,陈博译
ISBN:
978-7-111-69428-1 价格: CNY79.00
语种:
chi
载体形态:
168页 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 机械工业出版社 出版日期: 2022
内容提要:
本书第1章概述了半导体区别于其他固体的基本物理特性。第2章回顾了半导体材料,同时也介绍了有代表性的绝缘体和导体的材料,它们是构成可以工作的半导体器件和电路所必不可少的组成部分。而这些器件和电路是在第3章概述的。第4章是关于半导体工艺的基础知识。第5章讨论了主流半导体制造工艺中涉及的各单步工艺。第6章简要概述了半导体材料和工艺表征的基本原理。 
主题词:
半导体  
中图分类法:
O47 版次: 5
主要责任者:
鲁兹洛
次要责任者:
黄其煜
次要责任者:
陈博