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题名:
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纳米加工技术与原理 / (加拿大) Maria Stepanova,Steven Dew编 , 段辉高, 陈艺勤, 胡跃强, 李平译 |
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ISBN:
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978-7-118-12322-7 价格： CNY119.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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318, 10页 图,照片 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2021 |
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内容提要:
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本书为电子、材料以及物理等领域的科学家和工程师更新纳米结构加工的新核心技术。主要内容包括亚25nm图形的光刻技术,纳米尺度精度的沉积技术,纳米尺度的图形刻蚀技术等。本书的亮点不是为了延展微电子制造工艺,而是更多聚焦于可在纳机电系统、生物传感器、纳米材料、光子晶体以及其它新型器件结构等革命性技术领域应用的图形加工技术。 |
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主题词:
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纳米材料 加工 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 5 |
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主要责任者:
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斯捷潘诺娃 编 |
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主要责任者:
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德夫 编 |
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次要责任者:
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段辉高 译 |
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次要责任者:
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陈艺勤 译 |
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次要责任者:
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胡跃强 译 |
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次要责任者:
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李平 译 |
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附注:
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装备科技译著出版基金 |
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责任者附注:
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责任者Stepanova规范汉译姓: 斯捷潘诺娃; 责任者Dew规范汉译姓: 德夫 |