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题名:
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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用 / 张新宇, 谢长生著 , |
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ISBN:
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978-7-118-12284-8 价格： CNY169.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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211页 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2021 |
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内容提要:
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本书主要针对可见光、红外和太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构, 开展新的设计、工艺制作和测试评估方法的研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础, 有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法, 建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。 |
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主题词:
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刻蚀 研究 |
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中图分类法:
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TN405.98 版次： 5 |
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主要责任者:
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张新宇 著 |
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主要责任者:
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谢长生 著 |