题名:
精密纳米计量学   / (日) Wei Gao著 , 李雷, 赵昭, 张慧, 王文娟等译
ISBN:
978-7-118-12466-8 价格: CNY98.00
语种:
chi
载体形态:
11, 243页 图 25cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 国防工业出版社 出版日期: 2022
内容提要:
本书介绍了精密纳米计量学的相关知识, 重点讲述了精密纳米制造中测量角度和位移的光学传感器, 提出了改善传感器灵敏度和带宽, 减小传感器尺寸的技术, 并开发了新的多轴传感方法 ; 同时, 介绍了精密纳米计量中用于表面形状和平台运动的扫描型测量系统, 阐述了纳米制造中最基本的几何形状的测量误差分离算法和系统 ; 最后对微观非球面的测量, 纳米制造中微纳结构的精密纳米计量, 以及长结构的微观尺寸的快速、准确测量等进行了介绍。 
主题词:
纳米技术   应用
中图分类法:
TB9 版次: 5
其它题名:
用于纳米制造的传感器和测量系统
主要责任者:
高伟
次要责任者:
李雷
次要责任者:
赵昭
次要责任者:
张慧
附注:
装备科技译著出版基金 
责任者附注:
著者汉译姓取自版权页: 高伟