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题名:
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真空镀膜技术与应用
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陆峰编著
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ISBN:
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978-7-122-40245-5
价格：
CNY138.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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335页
图
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
化学工业出版社
出版日期：
2022
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内容提要:
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本书共9章，阐述了真空镀膜技术应用，介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜，真空溅射镀膜，真空离子镀膜，离子束(辅助)沉积，化学气相沉积的原理、特点、装置及应用；还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细介绍。
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主题词:
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真空技术
镀膜
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中图分类法:
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TN305.8
版次：
5
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主要责任者:
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陆峰
编著
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