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题名:
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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用 / 顾长志...[等]编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-069254-2 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xi, 404页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2021 |
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内容提要:
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本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用, 注重理论与实践的结合, 包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工, 以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用, 重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势, 在科学研究中的创新性应用与要注意的问题, 以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。 |
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主题词:
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纳米材料 新技术应用 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 5 |
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主要责任者:
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顾长志 编著 |
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版次:
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2版 |