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题名:
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半导体薄膜技术与物理 / 叶志镇[等]编著 , |
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ISBN:
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978-7-308-20948-9 价格： CNY59.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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254页 图，肖像 26cm |
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出版发行:
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出版地： 杭州 出版社： 浙江大学出版社 出版日期： 2020 |
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内容提要:
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本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础，全书共分十一章。第一章概述了真空技术，第二至第八章分别介绍了蒸镀、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术，第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论，第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术，第十一章介绍了溶液法技术及发光器件的制备。 |
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主题词:
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半导体膜 薄膜技术 |
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中图分类法:
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TN304.055 版次： 5 |
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主要责任者:
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叶志镇 编著 |
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版次:
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3版 |
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附注:
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“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 高等院校材料专业系列规划教材 材料学与工程 |