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题名:
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微细加工与微纳加工技术及应用 / 赵波, 李伯民, 李清...[等]编著 , |
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ISBN:
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978-7-122-36940-6 价格： CNY79.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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214页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2021 |
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内容提要:
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本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书介绍了微切削加工技术, 微细电加工技术, 激光的微纳米加工技术, 面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术, 纳米机械加工原理、方法与实现 ; 还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。本书内容丰富、语言精练, 具有较强的实践指导意义和实用价值。 |
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主题词:
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特种加工 技术 |
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中图分类法:
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TG66 版次： 5 |
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主要责任者:
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赵波 编著 |
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主要责任者:
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李伯民 编著 |
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主要责任者:
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李清 编著 |