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题名:
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微机电器件设计、仿真及工程应用 / 郭占社, 周富强编著 , |
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ISBN:
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978-7-5124-3456-1 价格： CNY49.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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222页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京航空航天大学出版社 出版日期： 2021 |
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内容提要:
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本书针对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上, 以微机电系统中常用的核心器件为对象, 结合大量工程实例, 采用Ansys软件, 详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法, 包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等。 |
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主题词:
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微电子技术 高等学校 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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主要责任者:
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郭占社 编著 |
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主要责任者:
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周富强 编著 |