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题名:
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低温等离子体诊断原理与技术 / 叶超编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-055475-8 价格： CNY169.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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340页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2021.06 |
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内容提要:
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本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程, 到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用, 较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识, 总结了该领域近年来的一些新进展, 提供了低温等离子体诊断应用的实例。 |
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主题词:
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低温 等离子体诊断 |
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中图分类法:
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O536 版次： 5 |
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主要责任者:
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叶超 编著 |