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题名:
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直拉硅单晶生长过程数值模拟与工艺优化 / 刘丁著 , |
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ISBN:
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978-7-03-066706-9 价格： CNY228.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xiii, 315页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2020 |
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内容提要:
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本书是作者长期从事直拉硅单晶生长过程数值模拟与工艺优化研究的总结。书中在概述硅单晶发展前景、主要生长设备及关键工艺的基础上, 介绍直拉硅单晶生长过程数值模拟方法、工艺流程与参数设置、热系统设计与制造等方面的内容 ; 从介观层面阐述多物理场耦合作用对晶体生长的影响, 并给出关键工艺参数选取方法 ; 提出一系列结合变量检测、智能优化及先进控制技术的硅单晶工艺研究理论和工程实现方法。 |
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主题词:
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直拉硅单晶 晶体生长 |
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中图分类法:
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TN304.053 版次： 5 |
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主要责任者:
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刘丁 著 |