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题名:
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飞秒激光微器件制备质量优化技术研究 / 潘雪涛著 , |
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ISBN:
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978-7-5684-1302-2 价格： CNY40.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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160页 图 22cm |
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出版发行:
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出版地： 镇江 出版社： 江苏大学出版社 出版日期： 2020 |
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内容提要:
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本书以作者攻读博士学位期间承担相关课题的工作为基础, 围绕飞秒激光微器件制备质量优化中的若干问题, 系统阐述了像差补偿、加工光斑三维整形以及扫描步距优化等方面的理论与实验研究。全书共分为七章, 内容包括飞秒激光微加工领域国内外研究的现状、飞秒激光双光子微加工机理及系统、空气和被加工材料折射率不同对微加工的影响及其补偿方法、飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形、扫描步距对微器件表面质量的影响及其优化方法等。 |
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主题词:
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飞秒激光 激光加工 |
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中图分类法:
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TG665 版次： 5 |
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主要责任者:
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潘雪涛, 著 |