题名:
芯片制造   / (美) Peter Van Zant著 , 韩郑生译
ISBN:
978-7-121-39983-1 价格: CNY89.00
语种:
chi
载体形态:
376页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 电子工业出版社 出版日期: 2020
内容提要:
本书内容包括半导体工艺的每个阶段, 从原材料制备到封装、测试以及传统的和现代的工艺, 第六版补充了半导体制造技术业界的新进展, 讨论了用于图形化、掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术, 使隐含在复杂的现代半导体制造材料和工艺中的物理、化学和电子的基础信息更易理解。每章包含有回顾总结和习题, 辅以丰富的术语表。本书主要特点是简洁明了 —— 避开了复杂的数学问题而介绍工艺技术内容 ; 与时俱进 —— 加入了半导体业界的新成果, 可以使读者了解工艺技术发展的趋势。 
主题词:
芯片   半导体工艺
中图分类法:
TN430.5 版次: 5
其它题名:
半导体工艺制程实用教程
主要责任者:
赞特
次要责任者:
韩郑生
版次:
第3版
责任者附注:
Peter Van Zant, 国际知名半导体专家, 具有广阔的工艺工程、培训、咨询和写作方面的背景。 
责任者附注:
责任者规范汉译姓: 赞特