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题名:
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PET基底磁控共溅射SiOx- (DCPD/MA) f阻隔薄膜的研究
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刘壮, 朱琳著
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ISBN:
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978-7-5142-2611-9
价格：
CNY58.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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198页
图
24cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
文化发展出版社
出版日期：
2021
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内容提要:
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本书主要内容包括: 试验设计及表征方法、磁控溅射过程中等离于组分的分析、磁控溅射沉积SiOx- (DCPD/MA) f薄膜的工艺研究等。
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主题词:
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复合薄膜
包装材料
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中图分类法:
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TB484
版次：
5
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主要责任者:
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刘壮
著
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主要责任者:
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朱琳
著
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